Wasserstoff / Phosphin H2 / PH3 Gas

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Letztes Update: 2020-05-12 09:59
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Produktdetails

Chemischer Name

Chemische Formel

CAS-Nr.

Molekulargewicht

Siedepunkt / Bereich

Gasdichte kg / m³ @ 20 ℃

Gefahrenklasse

UN-Nr.

Wasserstoff

H2

1333-74-0

1,00

-252,8 ℃

0,083

2.1

1954

Phosphin

PH3

7803-51-2

34

-82,72 ℃

1,405


Anwendung

Phosphoran ist eine wichtige n-dotierte Quelle bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und wird auch bei der chemischen Gasphasenabscheidung von Polysilicium, beim epitaktischen GaP-Material, beim Ionenimplantationsverfahren, beim MOCVD-Verfahren, bei der Herstellung von Passivierungsfilmen aus Phosphorsiliciumglas (PSG) und bei anderen Verfahren verwendet.

Prozess

Mischen


Notfallmaßnahmen



http://www.jh-gas.net/

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